2025.02.26 東芝／東芝情報システムがワンショット光学検査技術開発　半導体検査などに適用へ

ナノスケールの欠陥を瞬時に3Dで可視化

　東芝と東芝情報システムは、生産現場での外観検査用に、製品表面のナノスケールの高低差を持つ欠陥を1枚の撮像画像から3D形状に瞬時に可視化する新たなワンショット光学検査技術を開発したと発表した。半導体ウエハー欠陥検査などへの適用を想定しており、検査時間の大幅な短縮や効率化、歩留まり向上に寄与する。

...　　(つづく)