2025.02.26 東芝/東芝情報システムがワンショット光学検査技術開発 半導体検査などに適用へ
ナノスケールの欠陥を瞬時に3Dで可視化
東芝と東芝情報システムは、生産現場での外観検査用に、製品表面のナノスケールの高低差を持つ欠陥を1枚の撮像画像から3D形状に瞬時に可視化する新たなワンショット光学検査技術を開発したと発表した。半導体ウエハー欠陥検査などへの適用を想定しており、検査時間の大幅な短縮や効率化、歩留まり向上に寄与する。
... (つづく)東芝と東芝情報システムは、生産現場での外観検査用に、製品表面のナノスケールの高低差を持つ欠陥を1枚の撮像画像から3D形状に瞬時に可視化する新たなワンショット光学検査技術を開発したと発表した。半導体ウエハー欠陥検査などへの適用を想定しており、検査時間の大幅な短縮や効率化、歩留まり向上に寄与する。
... (つづく)
平素より週刊新聞をご愛読いただき、誠にありがとうございます。
このたび、配送体制の変更に伴い、2025年12月22日号より、新聞の包装方法を従来のビニール包装から帯封による包装へ変更させていただきます。
本変更は、配送の安定化および環境負荷低減を目的としたものであり、新聞の内容・品質に変更はございません。
また、本紙は日本郵便を利用して郵送しておりますため、天候や郵送事情などにより、お届けが毎週水曜日から前後する場合がございます。
発行日当日に確実に記事をご覧になりたいお客さまには、発行日当日からデジタル版で閲覧可能な「スタンダードプラン」もご用意しております。
ご検討のほどよろしくお願いします。