2025.06.02 キヤノンMJが米社製のハイブリッド型ナノ3DX線顕微鏡発売　空間分解能400ナノメートル以下

ハイブリッド型ナノ3DX線顕微鏡〝ApexHybrid-200〟

　キヤノンマーケティングジャパン（キヤノンMJ）は、国内独占販売契約を締結している米Sigray（シグレイ）製の1台で直交CTと斜めCT（ラミノグラフィー）に対応し最高空間分解能400ナノメートル以下を実現したハイブリッド型ナノ3DX線顕微鏡〝ApexHybrid-200（エイペックス ハイブリッド ニヒャク）〟の発売を始めた。

　複雑化が進む半導体製品の故障解析などにおいて、大型のプリント基板から小型のチップレットに至るまで、...　　(つづく)