［図3］（a）バナジウムを入れたサンプルでのバナジウムの量の深さ分布。X＝0が図2のp＋型の表面であり、表面から深さ22－33マイクロメートルの位置に11マイクロメートルの幅でバナジウムが入っていることがわかる。（b）電子と正孔が消える速さを示す1／eライフタイムの深さ分布。挿入図はバナジウムを入れた層周辺の詳細な1／eライフタイム深さ分布。バナジウムの入っている深さ22－33マイクロメートルの位置で、1／eライフタイムが小さくなっていることがわかる。また、1／eライフタイムが均一な位置から極小値の位置までの距離から、空間分解能が3マイクロメートルであることがわかる