2020.09.17 【新技術】SiC中の電気特性分布、３μｍの分解能で測定名古屋工大の研究グループが技術確立
［図1］高い空間分解能でSiCの電気特性を測定する装置の概念図
名古屋工業大学大学院工学研究科の加藤正史准教授の研究グループは、富士電機、電力中央研究所、昭和電工および産業技術総合研究所の研究グループと協力して、SiC中の電気特性の微細な分布を3マイクロメートルという世界最高の空間分解能で測定する技術を確立し、装置を開発した。この測定技術はSiCパワーデバイス内部の構造が、設計通りに作製されているかの可視化を容易にし、SiCパワーデバイスの高性能化につながる。
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