2022.03.15 第3世代酸化ガリウム100ミリエピウエハー開発ノベルクリスタルテクノロジーが佐賀大と共同で 第3世代酸化ガリウム(β-Ga₂O₃)100mmエピウエハーを用いて試作したショットキーバリアダイオード ▶記事本文へ