2022.07.22 次世代のパワエレ用半導体材料で新手法東大・藤岡教授ら発表　「AlGaN」利用拡大へ

試作したAlN／AlGaN HEMT素子の特性評価

試作したAlN／AlGaN HEMT素子の特性評価

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試作したAlN／AlGaN HEMT素子の特性評価
AlN／AlGaN HEMT素子の特性評価（拡大）
スパッタリングで成長した縮退GaN結晶の高分解能電子顕微鏡写真

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