2023.02.15 セミコン・コリアから〈中〉 次世代半導体技術に期待 各社、開発投資に全力
製造装置各社が注目するGAA構造MBCFETまでの変遷（サムスン電子資料）
製造装置各社が注目するGAA構造MBCFETまでの変遷（サムスン電子資料）
