2023.03.20 SCREEN、次世代パターン用直接描画装置開発
解像度2マイクロメートル、露光波長375ナノメートル対応の直接描画装置「LeVina」
解像度2マイクロメートル、露光波長375ナノメートル対応の直接描画装置「LeVina」
