2023.03.20 SCREEN、次世代パターン用直接描画装置開発
解像度2マイクロメートル、露光波長375ナノメートル対応の直接描画装置「LeVina」
解像度2マイクロメートル、露光波長375ナノメートル対応の直接描画装置「LeVina」
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