2023.08.16 半導体製造装置各社、生成AI向け需要に期待 市場拡大へ設備投資が活発 < 来年完成を予定する荏原製作所のウエハー研磨装置(CMP)生産棟。生産能力は1.5倍以上に拡大 > ▶記事本文へ