2023.08.30 東京エレクトロンが8.7世代ガラス基板対応プラズマエッチング装置の受注開始　量産安定性と歩留まり向上

8.7世代ガラス基板対応プラズマエッチング装置「Betelex 2700 PICP EX Plus」

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