2023.12.22 レーザーテックがEUV欠陥検査装置を発表 高NA対応、高輝度光源搭載
高NA対応アクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装置「ACTIS A300シリーズ」
高NA対応アクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装置「ACTIS A300シリーズ」
