2024.03.06 TRC、絶縁膜中の分析技術確立　ESR法で欠陥量分布を評価

窒化シリコン膜（膜厚：18ナノメートル）中欠陥量の膜厚に対する変化の評価例。均一ではなく深さ方向に分布があることが分かる

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