窒化シリコン膜（膜厚：18ナノメートル）中欠陥量の膜厚に対する変化の評価例。均一ではなく深さ方向に分布があることが分かる
分析・調査の受託事業を展開する東レリサーチセンター（TRC）は、先端半導体デバイスで用いられる極薄膜において絶縁膜中の欠陥を検出し定量化する分析技術を確立した。電子スピン共鳴法（ESR法）を用い、前処理技術を組み合わせて膜中の深さ方向の欠陥量分布評価を可能とした。極薄膜の分析受託サービスは昨年度から開始しており、膜厚方向の分析は今後ユーザーに訴求していく。
半導体デバイスは微細化や細線化が進み、10ナノメートル以下の極薄膜の... (つづく)
電波新聞は2024年4月から、祝日を休刊します。これまで日刊紙として土曜、日曜と月1回の新聞休刊日以外の毎日発行してきました。しかし、読者の働き方の変化など、より平日に情報収集する流れになってきていることを受けて祝日は休刊することにしました。
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【2024年に新たに休刊となる日】
▷4月29日（月）昭和の日
▷5月3日（金）憲法記念日
▷5月6日（月）振替休日
▷7月15日（月）海の日
▷8月12日（月）振替休日
▷9月16日（月）敬老の日
▷9月23日（月）振替休日
▷10月14日（月）スポーツの日
▷11月4日（月）振替休日
