2025.02.13 東大とJSR、半導体露光プロセスのみで平面レンズ作製

半導体露光プロセスのみで作製した平面レンズと集光の様子

半導体露光プロセスのみで作製した平面レンズと集光の様子

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半導体露光プロセスのみで作製した平面レンズと集光の様子
半導体露光プロセスのみによる平面レンズ作製手法の模式図（出所：JSR）

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