2026.03.19 世界最先端のASML製露光装置、ベルギーの半導体研究開発機関に設置

アイメックのルーベンにある300mmクリーンルームに設置されたASMLの「EXE:5200」（中央がアイメックのヴァン・デン・ホーヴェCEO）

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