2026.07.08 次世代半導体材料の欠陥を高速3D化、酸化ガリウム悩ます「転移」に対策、ノベルクリスタル β-Ga₂O₃結晶中の欠陥を3D画像にしたもの(出所=ノベルクリスタルテクノロジー) ▶記事本文へ