2021.07.16 【支える半導体製造】日本アビオニクス赤外線で微小リーク検知 感光材塗布むら、異物混入判定
微小な発熱箇所を特定できるハイエンド赤外線サーモカメラ「H9000」
赤外線は温度を持つ全ての物体から放射されている不可視光だ。温度分布を非接触で測定できるため、コロナ禍で発熱者のスクリーニング検査用サーモグラフィーが急速に普及した。
従来、機器や橋の表面温度から劣化を調べるなど工業用途の適用が多いが、半導体製造現場でも活用される。
シリコンウエハーは、シリコン融液から円柱状の単結晶の塊（インゴット）として生成する。インゴットはワイヤで輪切りにした後、製品信頼性を高めるた... (つづく)
