［図2］GaN系MEMS振動子の座屈モードの温度依存性。左：周波数温度係数（TCF）。最高で約マイナス5ppm／Kと、低いTCFが得られた。右：品質係数（Q値）。10万以上と、GaN系MEMS振動子としては最高値を達成した。温度上昇に伴う変化が少なく、600ケルビンまで上昇しても悪化しなかった