2021.09.03 【支える半導体製造】ホロンフォトマスクの線幅測定、高分解能の走査型電子顕微鏡

フォトマスク測長用のCD-SEM「ZX」

フォトマスク測長用のCD-SEM「ZX」

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フォトマスク測長用のCD-SEM「ZX」
分析用SEM「LEXa-10」

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