2022.03.03 NCTなどが成功のHVPE法での6インチウエハー上の酸化ガリウム成膜成膜条件の最適化などで前進

成功した成膜

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成功した成膜
開発した酸化ガリウム成膜向け6インチ枚葉式HVPE装置の外観

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