2022.03.03 NCTなどが成功のHVPE法での6インチウエハー上の酸化ガリウム成膜成膜条件の最適化などで前進
成功した成膜
量産装置 24年度に製品化目指す
タムラ製作所からのカーブアウトベンチャー、ノベルクリスタルテクノロジー(NCT、埼玉県狭山市)などが成功した、ハライド気相成長(HVPE)法での6インチウエハー上の酸化ガリウム成膜。成膜条件の最適化や独自の原料ノズル構造の採用などで、製品化へ前進した。低コスト化につながり、脱炭素などを後押ししそうだ。
... (つづく)成功した成膜
タムラ製作所からのカーブアウトベンチャー、ノベルクリスタルテクノロジー(NCT、埼玉県狭山市)などが成功した、ハライド気相成長(HVPE)法での6インチウエハー上の酸化ガリウム成膜。成膜条件の最適化や独自の原料ノズル構造の採用などで、製品化へ前進した。低コスト化につながり、脱炭素などを後押ししそうだ。
... (つづく)
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