2022.03.03 NCTなどが成功のHVPE法での6インチウエハー上の酸化ガリウム成膜成膜条件の最適化などで前進

成功した成膜

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量産装置　24年度に製品化目指す

　タムラ製作所からのカーブアウトベンチャー、ノベルクリスタルテクノロジー（NCT、埼玉県狭山市）などが成功した、ハライド気相成長（HVPE）法での6インチウエハー上の酸化ガリウム成膜。成膜条件の最適化や独自の原料ノズル構造の採用などで、製品化へ前進した。低コスト化につながり、脱炭素などを後押ししそうだ。

...　　(つづく)