2023.02.17 北大などの研究チーム　光源プラズマ流を観測　EUV露光の高出力化に期待

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図3　プラズマの流れ。一般的な流れ（a）と今回の研究で観測された中心部への流れ（b）

図3　プラズマの流れ。一般的な流れ（a）と今回の研究で観測された中心部への流れ（b）

左から右に照射されたレーザーで加熱されたプラズマのイメージ
富田 准教授
図1 　EUVターゲット写真（a）と温度・密度分布（b）。予想外の密度の中空様構造が判明した
図2 　EUV発光イメージ（a）とプラズマ内の2次元速度場構造（b）
図3　プラズマの流れ。一般的な流れ（a）と今回の研究で観測された中心部への流れ（b）

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