2023.02.17 北大などの研究チーム 光源プラズマ流を観測 EUV露光の高出力化に期待
左から右に照射されたレーザーで加熱されたプラズマのイメージ
新しい概念の可能性、幅広い応用分野
北海道大学大学院の富田健太郎准教授らの研究グループは、最先端の半導体製造に不可欠な技術、EUV（極端紫外線）露光の高出力化をもたらす光源プラズマ流の観測に世界で初めて成功した。新開発のレーザートムソン散乱計測システムを用い、世界で初めて、秒速10キロメートル以上の複雑なプラズマの流れを非接触方法で可視化した。<... (つづく)
