2023.03.13 キヤノンが広画角の半導体露光装置 フルサイズCMOSセンサー、XRデバイスに一括露光 フルサイズCMOSセンサーや小型ディスプレー製造に適用できるキヤノンの半導体露光装置「FPA-5550iX」 ▶記事本文へ