2023.04.10 米プラズマ・サーモ、日本市場で一層の浸透狙う 量産用薄膜形成装置投入、膜質と速度を追求
量産用薄膜形成装置「KOBUS F.A.S.T.」
量産用薄膜形成装置「KOBUS F.A.S.T.」
