半導体製造装置大手の米アプライドマテリアルズは11日、ウエハー製造の新しいプラットフォーム「Vistara」を発表した。人工知能(AI)などを通じて、柔軟性やスマート化、持続可能性を打ち出し、開発迅速化や歩留まり向上、環境配慮につなげる。

　アプライドのハードウエアやソフトウエア、プロセス技術、環境効率設計チームのエンジニア数百人がかかわり、4年以上かけて開発。

　同社はこれまでも、ウエハー製造のプラットフォームを手掛けており、その最新版になる。

　原子層堆積(ALD)や化学気相成長(CVD)などのプロセスに対応する。

　(14日の電波新聞／電波新聞デジタルで詳報予定です)