2023.09.07 【新技術】サロゲートモデルを利用した半導体用材料ガス供給システムのシミュレーション　大陽日酸

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図5 タイプ1の実験結果とシミュレーション結果

図5 タイプ1の実験結果とシミュレーション結果

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図1 気相圧力推算の検討結果
図5 タイプ1の実験結果とシミュレーション結果
図2（a）質量関係の略図（b）エネルギー関係の略図
図3 ヒーター配置タイプ例
図4 各タイプのシミュレーション結果

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