図1 気相圧力推算の検討結果
1．はじめに
当社では、固体材料を使用した半導体用材料ガスの供給システム開発に取り組んでいる１）。このシステムは、常温・常圧で固体材料を容器に充塡（じゅうてん）し、容器周囲に設けられたヒーターで加温し、固体材料を気化させて、半導体用材料ガスとして供給するシステム（以下、「本システム」という）である。
本システムにおいて、半導体用材料ガスの安定供給のためには、容... (つづく)
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電波新聞は2024年4月から、祝日を休刊します。これまで日刊紙として土曜、日曜と月1回の新聞休刊日以外の毎日発行してきました。しかし、読者の働き方の変化など、より平日に情報収集する流れになってきていることを受けて祝日は休刊することにしました。
4月以降は電波新聞デジタルでの情報発信を強化するとともに、紙面内容も充実させ、いっそう質の高い報道に努めてまいります。なお、元日付はこれまで通り発行いたします。
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【2024年に新たに休刊となる日】
▷4月29日（月）昭和の日
▷5月3日（金）憲法記念日
▷5月6日（月）振替休日
▷7月15日（月）海の日
▷8月12日（月）振替休日
▷9月16日（月）敬老の日
▷9月23日（月）振替休日
▷10月14日（月）スポーツの日
▷11月4日（月）振替休日
