2023.09.07 【新技術】サロゲートモデルを利用した半導体用材料ガス供給システムのシミュレーション 大陽日酸
図2（a）質量関係の略図（b）エネルギー関係の略図
図2（a）質量関係の略図（b）エネルギー関係の略図
