2024.04.03 HIOKIが基板検査装置の新製品 最小4マイクロメートルサイズの分解能

フライングプローブテスター「FA1815-20」

 HIOKIは、高密度基板の検査向けにフライングプローブテスター「FA1815-20」をこのほど発売した。これは高集積化による回路パターンの微細化やパターン数の増大に対応し、高速検査の実現を促すもの。

 新製品は高い剛性を持つ機体設計と新しいプローブ制御方式を採用。最小34マイクロメートルのピッチ(測定パターン間の距離)、最小4マイクロメートルサイズの分解能を持つ。機械ハードウエアの再設計と新しいプローブ移動アルゴリズムを採用し...  (つづく)