2024.07.12 TELがGCB装置を発売　EUV露光　極微細パターニング向け

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枚葉成膜装置「Episode1」（右）と「Episode2 DMR」

枚葉成膜装置「Episode1」（右）と「Episode2 DMR」

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GCB装置「Acrevia」
枚葉成膜装置「Episode1」（右）と「Episode2 DMR」

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