2024.07.12 TELがGCB装置を発売 EUV露光 極微細パターニング向け
GCB装置「Acrevia」
東京エレクトロン（TEL）はEUV（極端紫外線）露光による極微細パターニング工程向けにガスクラスタービーム（GCB）装置を発売した。難度が高まる最先端のパターニングにおいて、さらなる微細化と生産性の最大化を促す。同日には枚葉成膜装置の新製品の発売も開始しており、顧客ニーズに応えていく。発売はいずれも8日からとなる。
GCBはガス分子を結合してクラスター化し、高いエネルギーを持ちながら表面のダメージを抑えて処理する技術。発売し... (つづく)
