2024.12.10 CO₂レーザーで加工できるガラス基板、日本電気硝子が開発に着手 次世代半導体製造を大幅に高効率化 開発中のCO₂レーザーで穴開け加工が可能なガラスコア基板、右は微細貫通穴(ビア) ▶記事本文へ