2024.12.24 【解説】国内初導入のEUV露光装置　その仕組みと革新性

EUV露光装置の組み立ての様子（出典:ASML）

EUV露光装置の組み立ての様子（出典:ASML）

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EUV露光装置の組み立ての様子（出典:ASML）
設置開始を記念して行われた式典。左から4番目がラピダスの小池淳義社長

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