2025.08.28 I－PEX Piezo Solutionsが表面真空学会主催「24年度SP部会賞」受賞　大面積Si基板上に均一性維持した単結晶PZT薄膜の成膜を実現

左から東京都立大・清水徹英准教授（SP部会副部会長）、受賞者の中川原修さん（IPS）と服部梓さん（同）、成蹊大・中野武雄教授（SP部会部会長）

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