2025.08.28 I－PEX Piezo Solutionsが表面真空学会主催「24年度SP部会賞」受賞　大面積Si基板上に均一性維持した単結晶PZT薄膜の成膜を実現

左から東京都立大・清水徹英准教授（SP部会副部会長）、受賞者の中川原修さん（IPS）と服部梓さん（同）、成蹊大・中野武雄教授（SP部会部会長）

　I-PEX Piezo Solutions（IPS）は、日本表面真空学会が主催するスパッタリングおよびプラズマプロセス技術およびその関連分野の発展に寄与する顕著な業績を表彰することを目的としたSP部会賞で「2024年度SP部会賞」を受賞した。

　圧電材料として広く用いられているチタン酸ジルコン酸鉛（PZT）は、高い圧電特性を持ち、周波数フィルター、センサー、トランスデューサー、共振器など、さまざまなMEMSデバイスに活用されて...　　(つづく)