HORIBAグループの水・液体計測事業を手がける堀場アドバンスドテクノは26日、光ファイバー式非接触型薬液濃度モニター「CS-900F」を同日に発売すると発表した。新製品は、従来比約60%のセルユニット体積削減で小型化を実現しつつ、安定性に強みを有する内部リファレンス機構を搭載。対応薬液種も拡充し、半導体製造プロセスに貢献する。 

　新製品は、配管に取り付けるだけで薬液を非接触測定できる方式を採用し、薬液漏れやコンタミネーションのリスクを低減。光ファイバーケーブルを導入し、分光器をメインユニット側へ移設することで、装置内に設置するセルユニットの体積を従来比で約60％削減。大幅な小型化を実現しつつ、安定性に強みを有する内部リファレンス機構を搭載。外乱影響を低減した高い測定精度を維持しながら、装置内のフットプリント低減を可能にした。 

　さらに、対応可能な薬液の種類も拡充し、CSシリーズのフラッグシップとして安定性と汎用性を備えたモデルに刷新した。 従来製品の優位性を引き継ぎ、最高80℃までの高温薬液を含めた幅広い薬液の測定が可能。波長域を従来比約3倍に拡張することで、対応可能な薬液の種類を拡充した。 

　希望販売価格は700万円から（税抜き）。販売目標は100台（2026年度）。