光ファイバ式熱リン酸濃度モニターCS-620F
堀場アドバンスドテクノ（京都市南区、堀場弾社長）は、光ファイバ式熱リン酸濃度モニター「CS-620F」の販売を開始した。価格は600万円（税別）。
3次元NAND型フラッシュメモリーのSiN層エッチングプロセスで使用するリン酸濃度管理用などに供給する。海外販売も含めて25年までに300台の販売を目指す。
測定原理は吸収分光法。サンプルセル、モニター本体、光源ユニットからなる。140－170度の高温のリン... (つづく)
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【2024年に新たに休刊となる日】
▷4月29日（月）昭和の日
▷5月3日（金）憲法記念日
▷5月6日（月）振替休日
▷7月15日（月）海の日
▷8月12日（月）振替休日
▷9月16日（月）敬老の日
▷9月23日（月）振替休日
▷10月14日（月）スポーツの日
▷11月4日（月）振替休日
