2020.07.01 光ファイバ式熱リン酸濃度モニター堀場アドバンスドテクノが販売開始

光ファイバ式熱リン酸濃度モニターCS-620F

　堀場アドバンスドテクノ（京都市南区、堀場弾社長）は、光ファイバ式熱リン酸濃度モニター「CS-620F」の販売を開始した。価格は600万円（税別）。

　3次元NAND型フラッシュメモリーのSiN層エッチングプロセスで使用するリン酸濃度管理用などに供給する。海外販売も含めて25年までに300台の販売を目指す。

　測定原理は吸収分光法。サンプルセル、モニター本体、光源ユニットからなる。140－170度の高温のリン...　　(つづく)