2026.04.20 パナソニックコネクト、プラズマクリーナーに予知保全AI　半導体工場の稼働を支える中村ちひろ氏に開発の舞台裏を聞く

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プラズマクリーナー「PSX307」（提供：パナソニックコネクト）

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