2019.10.07 LPE SiC用エピタキシャル成膜装置発売、全自動搬送システム採用で量産対応
日本でのビジネス拡大を目指すプレッティCEO
伊エルピーイー（LPE）は2日、自動搬送機能を搭載したSiC用エピタキシャル成膜装置「PE1〇6A」を発売した。販売と技術サポートは巴工業が行い、日本でのビジネス拡大を目指す。
LPEはイタリア・ミラノに本社を置く、エピタキシャル成膜装置の専業メーカー。01年のSiCエピタキシャル成膜装置開発以降、欧州のプロジェクトにも参画し、パワー半導体分野で高い技術力とノウハウを持っている。
新製品は、枚葉式の6イ... (つづく)
