2021.03.05 非接触型のナノ制御プロセス技術関西学院大と豊田通商が〝欠陥ゼロ〟のSiC基板
Dynamic AGE-ingの概要図
関西学院大学と豊田通商は、〝欠陥ゼロ〟のSiC（シリコンカーバイド）基板を実現する独自のプロセス技術を開発した。同技術によるSiC基板のサンプルを21年度上半期中に半導体メーカーへ供給開始する。
両者が共同開発した独自技術は「Dynamic AGE-ing（ダイナミック・エージング）」。
開発した関西学院大学理工学部の金子忠昭教授によると、同技術は従来の機械加工とは異なり、熱エッチングと結晶成長を統合し... (つづく)
