2021.04.05 浜松ホトニクスがマイクロLEDPL検査装置異常を高速で検査

「MiNY PL マイクロLED PL検査装置」

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　浜松ホトニクスは、ウエハー上のマイクロLEDの外観、輝度、発光波長の異常を高速で検査できる「MiNY（マイニー）PL マイクロLED PL検査装置」C15740-01を開発した。

　独自の光学設計技術で新たに開発したイメージングモジュールと画像処理技術により、光励起による発光をイメージングすることで非接触、非破壊でLEDなどの特性を評価するフォトルミネッセンス（PL）計測法を用いたもので、ディスプレー用途に向け良品率向上が進め...　　(つづく)