2021.08.18 【支える半導体製造】東レエンジニアリングDソリューションズ回収純水の有機物測定、「低温密封」でメンテ性向上
TOC自動分析装置「TOC-780」
半導体製造現場ではウエハーの洗浄、薬液の洗い流しや希釈などで超純水を大量に使用する。
純水の一部は回収して再び使用。その際、水中の有機物を炭素換算で表したTOC（全有機体炭素量）が一定値以下になっているかを測定して再利用の判定基準にする。
東レエンジニアリングDソリューションズ（TDS）の「TOC-780」は、超純水中のTOCの絶対値を測定する自動分析装置。洗浄機で無機体炭素を除去した後にリアクターでU... (つづく)
