クリエイティブテクノロジーは、同社の強みである「静電チャック」や静電吸着式「パーティクルコレクター」など計27アイテムを提案する。

　静電チャックは、真空環境で電気的な力を用いてシリコンウエハーを吸着、高精度な温度制御を行うためのツールだ。近年ではこの技術を応用し、対象物への物理的な負荷が少ない新たなマテリアルハンドリング手段としての開発を強化。自動車、電子部品、繊維などの産業向けに積極展開している。

　同社はポリイミド樹脂、セラミック焼結、セラミックコーティングのそれぞれから成る静電チャックをそろえるほか、顧客の要望に応じて対象物や用途、環境に最適なカスタマイズも行っている。

　パーティクルコレクターは、静電チャックのノウハウを生かし、空間のほこりなどを効率的に吸着・捕捉する機器だ。

　独自開発技術による高い集じん効率を発揮。製品への異物の付着を予防し、製造工程における歩留まり改善にも貢献する。

　ナノメートルサイズのパーティクルもキャッチし、大気中やクリーンルーム、真空環境などさまざまなユースケースに対応。ファンモーターがないため、ほこりの巻き上げや動作音もない。消費電力が小さいのも特長の一つ。

　「Ion Pad（イオンパッド）」は、特殊樹脂コーティングとベース基材から成り、対象物との界面に分子間力の一種「ファンデルワールス力」を発現させ、対象物を把持する機器だ。

　パッドの表面状態を制御しフラットパネルディスプレー貼り合わせなどに使用する粘着タイプとシリコンウエハーの高速高精度搬送に耐える高摩擦力タイプの2種を展開する。

　真空環境でも使用でき、洗浄によって繰り返し使用が可能。導入実績も多く、コスト削減やタクトタイム短縮につながるなど好評を得ている。