2021.12.17 ディープ・シリコン・エッチング技術を提供の新製品米ラムリサーチが次世代パワーデバイスなど向け
「Syndion GP」
米半導体製造装置大手ラムリサーチはこのほど、車載や電力供給、エネルギー分野で使用される次世代のパワーデバイスやパワーマネジメントIC(PMIC)を開発するメーカー向けにディープ・シリコン・エッチング技術を提供する新製品「Syndion GP」を発表した。
自動車やエネルギー分野の技術が高度になるにつれ、チップレベルで高電力、高性能、高密度への要求が増している。より高いアスペクト比構造を実現するためには、ウエハー間でより高い均... (つづく)