2022.01.10 自動化機能強化の走査電子顕微鏡2モデル日立ハイテク

SU8600（左）、SU8700

　日立ハイテクは、データ取得の自動化機能を強化した2機種のFE－SEM「SU8600」「SU8700」を発売。国内での販売価格（税別）は、SU8600を7400万円、SU8700を7900万円で予定しており、2機種合わせて年間200台を販売目標としている。

　FE－SEMは、半導体やライフサイエンス、材料開発などの幅広い分野において、微細構造の観察や計測・分析を行う際に活用されている走査電子顕微鏡。今後、多くのデータを必要とする...　　(つづく)