2022.01.10 ASMLのベルリン工場火災調査会社レポートでEUV露光装置への影響懸念
台湾系調査会社トレンドフォースはこのほど、半導体露光装置世界最大手オランダ・ASMLのベルリン部品工場の火災に関する調査レポートを発表した。
火災は2日夜、露光装置用光部品を製造する工場（旧ベルリナー・グラス）で発生（4日付既報）。調査によると、床面積3万2000平方メートルのうち約200平方メートルが影響を受けた。
工場ではウエハーテーブル、クランプ、レチクルチャック、ミラーブロックなどを製造。このう... (つづく)
