2022.01.21 第8世代FPD向けプラズマエッチング装置東京エレクトロンが投入
「Impressio 2400 PICP Pro」
東京エレクトロンは、第8世代のガラス基板対応プラズマエッチング装置として、高精細プロセス向け新チャンバーPICP Proを搭載した「Impressio 2400 PICP Pro」をこのほど販売開始した。
OLED（発光材料に有機物質を使ったLED）に代表される高精細・高付加価値のFPD（フラットパネルディスプレー）が大型化して、従来以上にパーティクルなどにおいて厳格な製造装置の管理が求められている。
... (つづく)
