2022.02.07 TELがエッチング装置の新型販売300ミリメートルパワーデバイス向け

300ミリメートルパワーデバイス向けエッチング装置Tactras-UDEMAE

　東京エレクトロン（TEL）は、300ミリメートルパワーデバイス向けエッチング装置Tactras-UDEMAEを販売。Tactras-UDEMAEは、200ミリメートルウエハー市場で業界最大の納入実績を誇る同社のパワーデバイス製造向けプラズマリアクターを、300ミリメートルウエハー向けに拡張、300ミリメートルウエハープロセスで高い信頼性と高生産性で実績のあるプラットフォームTactrasに搭載した。

　200ミリメートルウエハ...　　(つづく)